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新能源高纯电子级红外加热器

适用范围

主要技术参数

公司生产的石英加热器是电子级硅材料行业的全球领先明星产品,其核心部件均为公司自主研发设计,设备操作方便,故障率底,使用寿命长(平均3年以上),加热效率高,产品生产合格率高。核心加热部件采用高纯石英材料,无任何金属体与加工物料接触。确保在在高温加热下,无金属氧化物产生,避免对高纯硅芯造成金属氧化物污染。是高纯硅芯电子经级材料加工的理想设备。

与其它同类加热设备相比

一、卤素灯加热器,卤素灯灯管薄,加热部件本身结构缺陷,加热灯管在高温加热下产生应力,灯管易炸裂,灯管使用率低,维修成本较高,容易造成安全隐患。生产过程中,击穿力时间长,生产效率不高且采用金属灯架,在高温加热下,产生金属氢化物,污染。对高纯硅芯造成金属氧化物污染严重,造成产品合格率低。

二、激光置内加热器,因设备设计及加热原理缺陷,容易造成硅芯产品结构破坏,产品合格率低。设备使用寿命短,维修率高。

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