处理石英管的一种新方法推荐

发布时间:2015-01-21 16:28:00 点击:
石英管在半导体器件生产中必不可少。为保持清洁,石英管内壁经常要进行化学处理。这里介绍一种即科学又省事的方法。
由图1可见,这种处理方法是将石英管的开口朝F,喷嘴喷出的高纯水由石英加热器加热。工作时纯水通过入口进入加热器,接着使AB接通电源,水温逐渐升高。喷嘴中喷射出的由凉变热的纯水喷至石英管底部后溅射管壁四周。顺流附壁而下,对石英管进行细水长流的冲洗。经过一段时间以后,当用电导仪测得纯水的入口处的电阻率和废水出口处在不加热时的电阻率大体相近时,处理即可停止。
图1
此法具有如下优点:
(1)因为在清洗中,被清洗的杂质有的易溶于热水而有的又易溶水凉水,采用由凉变热,由热变凉的细水长流的处理方法是合乎清洗原则的。同时加热后的纯水在未使用前尽量免除了空气的污染,保证了清洗质量。
(2)结构极为简单,造价低廉,可自行制作,操作方便,减轻了劳动强度。
(3)易于实现自动化。
总之,此方法尽管原理简单。却具有推广和实用价值。
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